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普飛索PERFSO KELK化學(xué)液體加熱器,為什么會在半導(dǎo)體制造線中大量應(yīng)用

更新時間:2025-08-26      瀏覽次數(shù):286

普飛索PERFSO KELK化學(xué)液體加熱器,為什么會在半導(dǎo)體制造線中大量應(yīng)用

日本KELK是制作特殊化學(xué)液體加熱器、超純水加熱器及其他精密溫度控制器的專業(yè)廠家,原名KOMATSU(小松制作所),1966年成立,有57年的研發(fā)和制造經(jīng)驗。KELK超純水加熱器和化學(xué)液體加熱器在半導(dǎo)體、鋰電池、太陽能電池清洗中被廣泛應(yīng)用。

CS加熱器主要用于半導(dǎo)體制造線上硅晶片的清洗、液晶制造線中的玻璃基板的清洗等適用的加熱超純水裝置。加熱部是用高品質(zhì)石英玻璃雙層覆蓋的鹵素?zé)粢驗槭怯衫w維構(gòu)成,所以**無污染、無損害。

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主要特征:

*加熱器采用高品質(zhì)石英玻璃雙層覆蓋的纖維鹵素?zé)簦粫驗槭⑷芙雍图訜崞髌茡p對液體造成污染。

*超小型設(shè)計,不占空間

*加熱效率達(dá)95%,縮短了加熱等到時間。

*對過升溫、空燒、漏水等的**功能及警報機根據(jù)能力對應(yīng)**性。

主要用途:

1.硅晶片的清洗

2.液晶用玻璃基本的清洗

3.溫純水清洗代替其他氟利昂類清洗


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